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반도체 다층배선의 층간 절연막으로서의 플라즈마 중합 유기박막
표제/저자사항 반도체 다층배선의 층간 절연막으로서의 플라즈마 중합 유기박막 / 정동근
형태사항 p. 26-35 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 세라미스트. 한국요업학회. 4권 1호(2001년 2월), p. 26-35 4:1<26 상세보기 ISSN 1226-976X
저자: 정동근, 성균관대학교 물리학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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