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습식 식각에 의한 실리콘 웨이퍼의 표면 및 전기적 특성변화.2, 표면거칠기와 전기적 특성의 상관관계 = Change of surface and electrical characteristics of silicon wafer by wet etching
표제/저자사항
습식 식각에 의한 실리콘 웨이퍼의 표면 및 전기적 특성변화.2, 표면거칠기와 전기적 특성의 상관관계 = Change of surface and electrical characteristics of silicon wafer by wet etching / 김준우, 강동수, 이현용, 이상현, 고성우, 노재승
형태사항
p. 322-328 ; 30 cm
주기사항
Relationship between surface roughness and electrical properties
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 23권 6호(2013년 6월), p. 322-328 23:6<322 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 김준우, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 강동수, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 이현용, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 이상현, ㈜eCONY
저자: 고성우, ㈜eCONY
저자: 노재승, 금오공과대학교 신소재시스템공학부 E-MAIL: jsroh@kumoh.ac.kr
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 23권 6호(2013년 6월), p. 322-328 23:6<322 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 김준우, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 강동수, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 이현용, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 이상현, ㈜eCONY
저자: 고성우, ㈜eCONY
저자: 노재승, 금오공과대학교 신소재시스템공학부 E-MAIL: jsroh@kumoh.ac.kr
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
