일반도서
반도체 설비공학 = Semiconductor equipment engineering
표제/저자사항 반도체 설비공학 = Semiconductor equipment engineering / 이형복, 오찬권, 김학동 著
발행사항 안동 : 함백출판사, 2018
형태사항 320 p. : 삽화 ; 30 cm
주기사항 감수: 이주원, 김규철, 최상헌
권말부록: 반도체 공정 용어
표준번호/부호 ISBN 9788997045273 93550
분류기호 한국십진분류법-> 569.4듀이십진분류법-> 621.38152
주제명 반도체 공학[半導體工學]
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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