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Multi-hole RF CCP 방전에서 방전 주파수가 미치는 영향: .
표제/저자사항 Multi-hole RF CCP 방전에서 방전 주파수가 미치는 영향: . / 이헌수 [1980-] 이윤성 서상훈 장홍영 [1954-]
발행사항 서울 : 한국진공학회, 2011
형태사항 PDF1 p.
주기사항 수록자료: 한국진공학회 학술발표회초록집 제41회 (20110817), p. 145-145
표준번호/부호 UCI  G701:C-00056472349
분류기호 한국십진분류법-> 554.9205
출처 국립중앙도서관 바로가기
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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