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Simple passivation technology by thermal oxidation of aluminum for AlGaN/GaN HEMTs
표제/저자사항
Simple passivation technology by thermal oxidation of aluminum for AlGaN/GaN HEMTs / 김정진 [1985-] 안호균 [1972-] 배성범 [1974-] 문재경 [1966-] 박영락 [1986-] 임종원 민병규 [1969-] 윤형섭 [1957-] 양전욱 [1958-]
발행사항
서울 : 한국진공학회, 2012
형태사항
주기사항
본 자료는 초록(요약문)임
수록자료: 제43회 한국진공학회 … 학술대회 2012년 하계 (20120820), p. 176
수록자료: 제43회 한국진공학회 … 학술대회 2012년 하계 (20120820), p. 176
표준번호/부호
UCI G701:C-00060364243
분류기호
한국십진분류법-> 554.9405
출처
국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
