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CVD 및 CVR에 의한 SiC 코팅기술 개발
표제/저자사항 CVD 및 CVR에 의한 SiC 코팅기술 개발 / 유인근 [1965-] 윤영훈 [1971-] 박이현 [1977-] 안무영 구덕영 조승연 [1960-]
발행사항 서울 : 한국진공학회, 2012
형태사항 PDF1 p.
주기사항 본 자료는 초록(요약문)임
수록자료: 제43회 한국진공학회 … 학술대회 2012년 하계 (20120820), p. 203
표준번호/부호 UCI  G701:C-00060364278
분류기호 한국십진분류법-> 554.9405
출처 국립중앙도서관 바로가기
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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