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Arc Ion Plating Deposition System의 Bias 종류에 따른 TiN 박막의 특성평가
표제/저자사항 Arc Ion Plating Deposition System의 Bias 종류에 따른 TiN 박막의 특성평가 / 김왕렬 [1982-] 박민석 김대영 김현승 권민철 [1963-]
발행사항 서울 : 한국진공학회, 2012
형태사항 PDF1 p.
주기사항 본 자료는 초록(요약문)임
수록자료: 제43회 한국진공학회 … 학술대회 2012년 하계 (20120820), p. 208
표준번호/부호 UCI  G701:C-00060364288
분류기호 한국십진분류법-> 554.9405
출처 국립중앙도서관 바로가기
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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