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RIE damage remove etching process for solar cell surface texturing using the TMAH etching
표제/저자사항
RIE damage remove etching process for solar cell surface texturing using the TMAH etching / 오정화 공대영 [1974-] 조준환 조찬섭 [1965-] 윤성호 이종현 [1949-]
발행사항
서울 : 한국진공학회, 2012
형태사항
주기사항
수록자료: 제42회 한국진공학회 … 학술대회 2012년 동계 (20120208), p. 584
표준번호/부호
UCI G701:C-00060364833
분류기호
한국십진분류법-> 554.9405
출처
국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
