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진공 챔버내 수분 잔류시 챔버 내부 압력 변화에 대한 고찰
표제/저자사항 진공 챔버내 수분 잔류시 챔버 내부 압력 변화에 대한 고찰 / 조혁진 임성진 고태식 박성욱 [1983-] 서희준 [1972-] 문귀원 [1965-]
발행사항 서울 : 한국진공학회, 2013
형태사항 PDF1 p.
주기사항 간행빈도: 기타 간행빈도
수록자료: 한국진공학회 학술발표회초록집 2013년 (20130821), p. 121-121
표준번호/부호 UCI  G701:C-00068113421
분류기호 한국십진분류법-> 554.9205
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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