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Optimization and application of Si-DLC coating with low friction and high hardness property by using PECVD method
표제/저자사항
Optimization and application of Si-DLC coating with low friction and high hardness property by using PECVD method / 여기호 [1976-] 문종철 신의철 이현석 최순옥 유재무
발행사항
서울 : 한국진공학회, 2013
형태사항
주기사항
간행빈도: 기타 간행빈도
수록자료: 한국진공학회 학술발표회초록집 2013년 (20130821), p. 169-169
수록자료: 한국진공학회 학술발표회초록집 2013년 (20130821), p. 169-169
표준번호/부호
UCI G701:C-00068113546
분류기호
한국십진분류법-> 554.9205
출처
국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
