저자 전거 검색

공유
인쇄
공유
전자책
유도 결합 플라즈마 스퍼터 승화법을 이용한 CrN 박막의 반응성 증착에서 질소 분압에 따른 박막 특성
표제/저자사항 유도 결합 플라즈마 스퍼터 승화법을 이용한 CrN 박막의 반응성 증착에서 질소 분압에 따른 박막 특성 / 유영군 최지성 주정훈 [1962-]
발행사항 서울 : 한국진공학회, 2013
형태사항 PDF1 p.
주기사항 간행빈도: 반년간
수록자료: 한국진공학회 학술발표회초록집 2013년 (20130218), p. 566-566
표준번호/부호 UCI  G701:C-00068114044
분류기호 한국십진분류법-> 554.9205
출처 국립중앙도서관 바로가기
MODS 보기 목록
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로