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모듈레이티드 펄스 스퍼터링으로 상온 증착한 Indium-Tin-Oxide = Indium tin oxide (itO) nano thin films deposited by a modulated pulse sputtering at room temperature
표제/저자사항
모듈레이티드 펄스 스퍼터링으로 상온 증착한 Indium-Tin-Oxide = Indium tin oxide (itO) nano thin films deposited by a modulated pulse sputtering at room temperature / Joo, Junghoon You, Younggoon Jeong, Jinyong
발행사항
한국표면공학회, 2014
형태사항
주기사항
한국연구재단 제공 KCI 등재(후보)학술지임
ISSN 1225-8024
수록자료: 한국표면공학회지 47권 3호 p. 109-115
ISSN 1225-8024
수록자료: 한국표면공학회지 47권 3호 p. 109-115
표준번호/부호
ISSN 12258024
EISSN -
UCI -
DOI http://dx.doi.org/10.5695/JKISE.2014.47.3.109
EISSN -
UCI -
DOI http://dx.doi.org/10.5695/JKISE.2014.47.3.109
출처
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
