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진공열처리에 따른 IGZO 박막의 특성 변화 = Effect of vacuum annealing on the properties of IGZO thin films
표제/저자사항
진공열처리에 따른 IGZO 박막의 특성 변화 = Effect of vacuum annealing on the properties of IGZO thin films / Kim, So-young Kim, Sun-kyung Kim, Seung-hong Jeon, Jae-hyun Gong, Tae-kyung Son, Dong-il Choi, Dong-hyuk Kim, Dae-il
발행사항
서울 : 韓國熱處理工學會, 2014
형태사항
주기사항
간행빈도: 격월간
언어: 영어 요약 있음
서지: 참고문헌: p. 179
수록자료: 열처리공학회지 27卷 4號 (2014년 7월) p. 175-179 ISSN 1225-1070
언어: 영어 요약 있음
서지: 참고문헌: p. 179
수록자료: 열처리공학회지 27卷 4號 (2014년 7월) p. 175-179 ISSN 1225-1070
표준번호/부호
ISSN 1225-1070
eISSN 2508-4046
UCI G701:A-00092698073
eISSN 2508-4046
UCI G701:A-00092698073
분류기호
한국십진분류법-> 581.3605
주제명
열처리[熱處理]
출처
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