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Investigation on the electric properties of a-Si on c-Si by used PECVD = PECVD를 이용해 c-Si 기판위에 a-Si를 증착한 전기적 특성연구
표제/저자사항
Investigation on the electric properties of a-Si on c-Si by used PECVD = PECVD를 이용해 c-Si 기판위에 a-Si를 증착한 전기적 특성연구 / HyeonHun Yang Hanwool Kim ChangGwon Lee KilJu Na SoonYoul So GyeChoon Park Jin Lee
발행사항
서울 : 한국신.재생에너지학회, 2012
형태사항
주기사항
수록자료: 학술대회 논문집-한국신.재생에너지학회 2012년 춘계 p. 63-63 ISSN 1976-2550
표준번호/부호
UCI G701:A-00117649951
출처
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
