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The effect of substrate bias for titanium nitride thin films deposited by cathode Arc method = cathode 아크 방법에 의해 증착된 TiN 박막에 대한 기판 바이어스 효과
표제/저자사항
The effect of substrate bias for titanium nitride thin films deposited by cathode Arc method = cathode 아크 방법에 의해 증착된 TiN 박막에 대한 기판 바이어스 효과 / 한경훈 박민석 여기호 [1976-] 전영하 [1956-]
발행사항
서울 : 한국표면공학회, 2006
형태사항
주기사항
서지: Includes bibliographical references : pages 15
수록자료: 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2006년 4월 p. 14-15
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표준번호/부호
UCI G701:A-00123510795
출처
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
