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1 ton급 스테이지의 미세 제진을 위한 복합형 마운트 = Hybrid mount for micro vibration conrol in an 1-ton stage
표제/저자사항 1 ton급 스테이지의 미세 제진을 위한 복합형 마운트 = Hybrid mount for micro vibration conrol in an 1-ton stage / 정안목 김철호 김형태 송원길 [1961-]
발행사항 서울 : 한국생산제조시스템학회, 2013
형태사항 PDF1 p.
주기사항 참고문헌: p. 230
수록자료: 학술대회 논문집-한국생산제조시스템 2013년추계(2013년10월) p. 230
다른 형태자료: ISSN 2287-1411 상세보기
표준번호/부호 UCI  G701:A-00124045433
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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