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DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO2/Ag/TiO2 다층박막의 전기적 및 광학적 특성 = Electrical and optical properties of TiO2/Ag/TiO2 multilayer by DC/RF magnetron sputtering
표제/저자사항
DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO2/Ag/TiO2 다층박막의 전기적 및 광학적 특성 = Electrical and optical properties of TiO2/Ag/TiO2 multilayer by DC/RF magnetron sputtering / 김성한 송풍근 [1964-]
발행사항
서울 : 한국표면공학회, 2016
형태사항
주기사항
수록자료: 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2016년 춘계 p. 108
출처
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
