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1000mm급 반도체 치구용 OH함량 100~200ppm, 불순물 100ppm이하의 고순도 Quartz ingot 제조공정 기술개발
표제/저자사항
1000mm급 반도체 치구용 OH함량 100~200ppm, 불순물 100ppm이하의 고순도 Quartz ingot 제조공정 기술개발 / 디에스테크노 주관기관한국산업기술시험원 참여기관한국산업기술대학교 참여기관김영주 총괄책임자권기봉 참여기관책임자임항준 [1958-] 참여기관책임자
발행사항
세종 : 산업통상자원부, 2017
형태사항
주기사항
권말부록: 시험성적서-1차년도 quarta ingot 시제품 등
국가연구개발 보고서원문 성과물 전담기관인 한국과학기술정보연구원에서 가공·서비스 하는 연구보고서는 동의 없이 상업적 및 기타 영리목적으로 사용할 수 없습니다.
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표준번호/부호
COI KISTI2.1015/RPT.TRKO201800040080
분류기호
한국십진분류법-> 569.41
주제명
반도체 재료[半導體材料]
출처
국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
