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학위논문
Study on properties and their applications of plasma enhanced atomic layer deposition of Co using N₂ / H₂ plasma as a reactant = N₂ / H₂플라즈마를 이용한 원자층증착법으로 증착된 Co 박막의 특성 및 응용에 대한 연구
표제/저자사항
Study on properties and their applications of plasma enhanced atomic layer deposition of Co using N₂ / H₂ plasma as a reactant = N₂ / H₂플라즈마를 이용한 원자층증착법으로 증착된 Co 박막의 특성 및 응용에 대한 연구 / Jaehong Yoon
발행사항
Seoul : Yonsei Univ., 2012
형태사항
v, 39 leaves : ill., charts ; 26 cm
주기사항
Thesis(M.A.) -- Graduate School, Yonsei Univ., Dept. of Electrical and Electronic Engineering, 2012.
Bibliography: leaves 34-37.
In English; summary in Korean.
Bibliography: leaves 34-37.
In English; summary in Korean.
분류기호
한국십진분류법-> 569.4듀이십진분류법-> 621.38152
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
