학위논문
Design and analysis of redundant parallel micro manipulator for maskless lithography system = 마스크리스 노광 시스템을 위한 여유자유도를 가지는 병렬 마이크로 매니퓰레이터의 설계 및 분석
표제/저자사항 Design and analysis of redundant parallel micro manipulator for maskless lithography system = 마스크리스 노광 시스템을 위한 여유자유도를 가지는 병렬 마이크로 매니퓰레이터의 설계 및 분석 / Yong Seok Ihn
발행사항 Seoul : Sungkyunkwan Univ., 2013
형태사항 xiv, 215 p. : ill., charts ; 30 cm
주기사항 Thesis(Ph.D.) -- Graduate School, Sungkyunkwan Univ., Majored in Applied Mechanics, Dept. of Mechanical Engineering, 2013
Bibliography: p. 177-195
In English; summary in Korean
분류기호 한국십진분류법-> 559.9듀이십진분류법-> 629.8
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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