학위논문
저온 다결정 실리콘 박막의 이온활성 / 결정화 현상에 대한 물리적 특성 분석 연구 = Analytical characterization on the activation and crystallization processes in low-temperature polycrystalline silicon thin films
표제/저자사항 저온 다결정 실리콘 박막의 이온활성 / 결정화 현상에 대한 물리적 특성 분석 연구 = Analytical characterization on the activation and crystallization processes in low-temperature polycrystalline silicon thin films / 裵承默
발행사항 서울 : 弘益大學校, 2013
형태사항 xxi, 211 p. : 삽화(일부천연색), 도표 ; 26 cm
주기사항 학위논문(박사) -- 弘益大學校 大學院, 新素材工學科, 2013
참고문헌: p. 200-208
영어 요약 있음
분류기호 한국십진분류법-> 530.4듀이십진분류법-> 620.11
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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