학위논문
A study on the through-si-via TSV interconnection by electrodeposition = 습식 전해 증착을 통한 관통-실리콘-비아TSV 배선공정 연구
표제/저자사항 A study on the through-si-via TSV interconnection by electrodeposition = 습식 전해 증착을 통한 관통-실리콘-비아TSV 배선공정 연구 / Sanghyun Jin
발행사항 Seoul : Hanyang University, 2017
형태사항 xiii, 123 leaves : illustrations (some color) ; 26 cm
주기사항 Adviser: Bongyoung Yoo
Thesis(Ph.D.) -- Graduate School of Hanyang University, Department of Materials Engineering, 2017
Bibliography: leaves 115-120
전자자료: http://www.riss.kr/link?id=T14385037
In English; summary in Korean
분류기호 한국십진분류법-> 530.4듀이십진분류법-> 620.11
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로