학위논문
Development of mechano-chemical nanolithography technology based on nanotribological Interactions = 나노트라이볼로지적 상호작용에 기반한 기계-화학적 나노리소그래피 기술의 개발
표제/저자사항 Development of mechano-chemical nanolithography technology based on nanotribological Interactions = 나노트라이볼로지적 상호작용에 기반한 기계-화학적 나노리소그래피 기술의 개발 / In-ha Sung
발행사항 Seoul: Yonsei univ., 2004
형태사항 xiv, 178 leaves: ill.; 26 cm
주기사항 Thesis(Ph.D.) -- Graduate School, Yonsei Univ.: Dept. of Mechanical Engineering, 2004.
Bibliography: leaves 160-176.
분류기호 한국십진분류법-> 551.1듀이십진분류법-> 621.81
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로