학위논문
축방향 자기장의 주기적 조절을 이용한 유도 결합형 플라즈마의 향상에 관한 연구
표제/저자사항 축방향 자기장의 주기적 조절을 이용한 유도 결합형 플라즈마의 향상에 관한 연구 / 鄭在星
발행사항 인천: 仁荷大學校, 2000
형태사항 vii, 62장: 삽도; 26cm
주기사항 학위논문(석사) -- 인하대학교 대학원: 전자재료공학과, 2000
분류기호 한국십진분류법-> 569.41듀이십진분류법-> 621.38152
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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