학위논문
반도체 FAB 자동화물류 시스템의 모델링 및 시뮬레이션에 관한 연구 = Study on the modeling and simulation methodology of semiconductor FAB AMHS
표제/저자사항 반도체 FAB 자동화물류 시스템의 모델링 및 시뮬레이션에 관한 연구 = Study on the modeling and simulation methodology of semiconductor FAB AMHS / 장대순
발행사항 수원 : 아주대학교, 2018
형태사항 vii, 111장 : 삽화, 도표 ; 26 cm
주기사항 지도교수: 박상철
FAB는 "fabrication"의 약어임
학위논문(박사) -- 아주대학교 대학원, 산업공학과, 2018
참고문헌: 장 104-110
영어 요약 있음
분류기호 한국십진분류법-> 530.9듀이십진분류법-> 658.5
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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