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학위논문
300 mm wafer 용 ICP dry etcher의 진공 부품(TMP, RGA) 손상 원인 분석
표제/저자사항
300 mm wafer 용 ICP dry etcher의 진공 부품(TMP, RGA) 손상 원인 분석 / 鄭鎭用
발행사항
군산 : 群山大學校, 2018
형태사항
v, 53장 : 삽화, 도표 ; 26 cm
주기사항
TMP는 "Turbo Molecular Pump", RGA는 "Residual Gas Analyzer"의 약어임
지도교수: 朱廷焄, 崔鎔燮
학위논문(석사) -- 群山大學校 大學院, 플라즈마융합공학과, 2018
참고문헌: 장 49-50
전자자료: http://www.riss.kr/link?id=T14793192
영어 요약 있음
지도교수: 朱廷焄, 崔鎔燮
학위논문(석사) -- 群山大學校 大學院, 플라즈마융합공학과, 2018
참고문헌: 장 49-50
전자자료: http://www.riss.kr/link?id=T14793192
영어 요약 있음
분류기호
한국십진분류법-> 560듀이십진분류법-> 621.044
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
