학위논문
Atomic layer deposition of metals on non-oxide surfaces = Non-oxide 물질 위에 증착한 금속 원자층 증착 공정의 특성 연구
표제/저자사항 Atomic layer deposition of metals on non-oxide surfaces = Non-oxide 물질 위에 증착한 금속 원자층 증착 공정의 특성 연구 / Yoon, Jaehong
발행사항 Seoul : Yonsei University, 2019
형태사항 xi, 109 leaves : illustrations ; 26 cm
주기사항 Adviser: Hyungjun Kim
Thesis(Ph.D.) -- Graduate School, Yonsei University, Department of Electrical and Electronic Engineering, 2019
Bibliography: leaves 94-103
In English; summary in Korean
분류기호 한국십진분류법-> 560듀이십진분류법-> 621.3
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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