학위논문
NPCVD法에 依한 TiN 薄膜 蒸着에 關한 硏究 = Studies on TiN film deposition by normal pressure chemical vapor deposition method
표제/저자사항 NPCVD法에 依한 TiN 薄膜 蒸着에 關한 硏究 = Studies on TiN film deposition by normal pressure chemical vapor deposition method / 金宗範
발행사항 서울: 慶熙大學校, 1990
형태사항 66장: 삽도; 26cm
주기사항 학위논문(박사) -- 慶熙大學校 大學院: 화학공학과, 1990
분류기호 한국십진분류법-> 570.33듀이십진분류법-> 660.2844
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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