학위논문
극자외선 마이크로 리소그라피를 위한 4-반사경 광학계의 수차해석 = Aberration analysis of 4-mirror optical system for deep UV micro-lithography
표제/저자사항 극자외선 마이크로 리소그라피를 위한 4-반사경 광학계의 수차해석 = Aberration analysis of 4-mirror optical system for deep UV micro-lithography / 김종태
발행사항 서울: 한국과학기술원, 1993
형태사항 iv,73장: 삽도; 26cm
주기사항 학위논문(박사) -- 한국과학기술원: 물리학과, 1993
분류기호 한국십진분류법-> 425.32듀이십진분류법-> 535.323
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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