학위논문
멀티전자빔 리소그라피를 위한 저에너지 마이크로컬럼에 관한 연구 = (A)study of low energy microcolumn for multiple electron-beam lithography
표제/저자사항 멀티전자빔 리소그라피를 위한 저에너지 마이크로컬럼에 관한 연구 = (A)study of low energy microcolumn for multiple electron-beam lithography / 최상국
발행사항 청주: 청주대학교, 2007
형태사항 vi, 103장: 삽화, 도표; 26 cm
주기사항 학위논문(박사) -- 청주대학교 대학원, 전자공학과, 2007
참고문헌: 장 97-101
분류기호 한국십진분류법-> 569.8듀이십진분류법-> 621.38154
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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