학위논문
마이크로웨이브에의한 비정질 실리콘의 저온 고상결정화 거동에 관한 연구 = (A)study on the low-temperature solid phase crystallization behavior of amorphous silicon thin films by microwave heating
표제/저자사항 마이크로웨이브에의한 비정질 실리콘의 저온 고상결정화 거동에 관한 연구 = (A)study on the low-temperature solid phase crystallization behavior of amorphous silicon thin films by microwave heating / 이정노
발행사항 대전: 한국과학기술원, 1997
형태사항 x,138장: 삽도,도판; 26cm
주기사항 학위논문(박사) -- 한국과학기술원: 재료공학과, 1997
분류기호 한국십진분류법-> 530.48듀이십진분류법-> 620.198
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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