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학위논문
Real-time end-point and fault detection of plasma etching processes = 플라즈마 식각 공정에 대한 실시간 종말점 및 이상진단
표제/저자사항 Real-time end-point and fault detection of plasma etching processes = 플라즈마 식각 공정에 대한 실시간 종말점 및 이상진단 / 한경훈
발행사항 Seoul : Seoul National Univ., 2008
형태사항 x, 128 p. : ill., charts ; 26 cm
주기사항 Thesis(Ph.D.) -- Graduate School of Seoul National Univ., School of Chemical & Biological Engineering, 2008.
Bibliography: p. 116-122.
In English; summary in Korean.
분류기호 한국십진분류법-> 569.4듀이십진분류법-> 621.38152
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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