학위논문
RF 플라즈마를 이용한 이산화우라늄(UO₂) 건식 식각 반응 연구 = (A)study on dry etching of uranium dioxide (UO₂) in RF plasma
표제/저자사항 RF 플라즈마를 이용한 이산화우라늄(UO₂) 건식 식각 반응 연구 = (A)study on dry etching of uranium dioxide (UO₂) in RF plasma / 민진영
발행사항 서울: 한양대학교, 1999
형태사항 vii,124장: 삽도; 26cm
주기사항 학위논문(박사) -- 한양대학교 대학원: 원자력공학과, 1999
분류기호 한국십진분류법-> 559.1251듀이십진분류법-> 621.48335
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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