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CHF₃와 SiH₄ 혼합기체를 이용하여 제조된 플라즈마 고분자막의 투과특성 = (The)permeation characteristics of plasma polymerization of mixtures of CHF₃ and SiH₄
표제/저자사항 CHF₃와 SiH₄ 혼합기체를 이용하여 제조된 플라즈마 고분자막의 투과특성 = (The)permeation characteristics of plasma polymerization of mixtures of CHF₃ and SiH₄ / 현상원, 전법주, 이재동, 정일현
형태사항 p. 214-217: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 응용화학. 한국공업화학회. 2권 1호(1998년 5월), p. 214-217 2:1<214 상세보기 ISSN 1226-8801
저자: 현상원, 단국대학교 화학공학과,
저자: 전법주, 단국대학교 화학공학과
저자: 이재동, 경원전문대 환경공업과
저자: 정일현, 단국대학교 화학공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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