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a-Si:H / TI 막으로부터 제조된 titanium disilicide 막에 수소가 미치는 영향 = (The)effecs of hydrogen in the titanium disilicide films fabricated from the a-Si:H / TI films
표제/저자사항 a-Si:H / TI 막으로부터 제조된 titanium disilicide 막에 수소가 미치는 영향 = (The)effecs of hydrogen in the titanium disilicide films fabricated from the a-Si:H / TI films / 모만진, 전법주, 윤용수, 정일현
형태사항 p. 129-132: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 응용화학. 한국공업화학회. 3권 1호(1999년 4월), p. 129-132 3:1<129 상세보기 ISSN 1226-8801
저자: 모만진, 단국대학과 화학공학과
저자: 전법주, 단국대학교 화학공학과
저자: 윤용수, 단국대학교 화학공학과
저자: 정일현, 단국대학교 화학공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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