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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 Al-doped ZnO 박막의 전기 및 광학적 특성 = Electrical and optical properties of Al-doped ZnO films prepared by RF magnetron sputtering
표제/저자사항 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 Al-doped ZnO 박막의 전기 및 광학적 특성 = Electrical and optical properties of Al-doped ZnO films prepared by RF magnetron sputtering / 김현철, 이재신
형태사항 p. 411-422: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 공학연구논문집. 울산대학교 출판부. 30권 1호(1999년 2월), p. 411-422 30:1<411 상세보기 ISSN 1225-3634
저자: 김현철, 재료금속공학부
저자: 이재신, 재료금속공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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