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고밀도 산소 플라즈마를 이용한 감광제 제거공정에 관한 연구 = (A)Study on photoresist stripping using high density oxygen plasma
표제/저자사항
고밀도 산소 플라즈마를 이용한 감광제 제거공정에 관한 연구 = (A)Study on photoresist stripping using high density oxygen plasma / 정형섭, 이종근, 박세근, 양재균
형태사항
p. 95-100: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.11 no.2(1998년 2월), p. 95-100 11:2<95 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 정형섭, 인하대학교 반도체 및 박막기술연구소
저자: 이종근 ,인하대학교 반도체 및 박막기술연구소
저자: 박세근, 인하대학교 반도체 및 박막기술연구소
저자: 양재균, 피에스케이(주) 부설연구소 E-MAIL: sgpark@munhak.ac.kr
저자: 정형섭, 인하대학교 반도체 및 박막기술연구소
저자: 이종근 ,인하대학교 반도체 및 박막기술연구소
저자: 박세근, 인하대학교 반도체 및 박막기술연구소
저자: 양재균, 피에스케이(주) 부설연구소 E-MAIL: sgpark@munhak.ac.kr
출처
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MARC 보기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
