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Al(Cu 1％)막의 플라즈마 시각후 부식 억제를 위한 S
Al(Cu 1％)막의 플라즈마 시각후 부식 억제를 위한 S$$F_6$$< / TEX> 처리시 fluorine passivation 효과 = (The)effects of fluorine passivation on S$$F_6$$< / TEX> treatment for Anti-corrosion affer Al(Cu 1％) plasma etching
표제/저자사항
Al(Cu 1％)막의 플라즈마 시각후 부식 억제를 위한 S$$F_6$$< / TEX> 처리시 fluorine passivation 효과 = (The)effects of fluorine passivation on S$$F_6$$< / TEX> treatment for Anti-corrosion affer Al(Cu 1％) plasma etching / 김창일, 권광호, 백규하, 윤용선, 김상기, 남기수
형태사항
p. 203-207: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.11 no.3(1998년 3월), p. 203-207 11:3<203 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 김창일, 중앙대학교 전자전기공학부 E-MAIL: cikim@cau.ac.kr
저자: 권광호, 한서대학교 전자공학과
저자: 백규하, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 윤용선, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 김상기, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 남기수, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 김창일, 중앙대학교 전자전기공학부 E-MAIL: cikim@cau.ac.kr
저자: 권광호, 한서대학교 전자공학과
저자: 백규하, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 윤용선, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 김상기, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 남기수, 한국전자통신연구원 반도체연구단
출처
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
