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Microelectromechnical system 소자 제작을 위한 유기금속분해법에 의한 압전성 PZT(53 / 47)박막의 증착 = Deposition of piezoelectric PZT(53 / 47) film by metalorganic decomposition for microelectromechanical deviece
표제/저자사항
Microelectromechnical system 소자 제작을 위한 유기금속분해법에 의한 압전성 PZT(53 / 47)박막의 증착 = Deposition of piezoelectric PZT(53 / 47) film by metalorganic decomposition for microelectromechanical deviece / 윤영수, 정형진, 신영화
형태사항
p. 458-464: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.11 no.6(1998년 6월), p. 458-464 11:6<458 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 윤영수, 한국과학기술연구원 박막기술연구센타 E-MAIL: ysyoon@kistmail.kist.re.kr
저자: 정형진, 한국과학기술연구원 박막기술연구센타
저자: 신영화, 경원대학교 전기전자공학부
저자: 윤영수, 한국과학기술연구원 박막기술연구센타 E-MAIL: ysyoon@kistmail.kist.re.kr
저자: 정형진, 한국과학기술연구원 박막기술연구센타
저자: 신영화, 경원대학교 전기전자공학부
출처
국립중앙도서관 바로가기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
