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고주파 반응성 스퍼터링에 의해 제작된 InN 박막의 특성 = Characteristics of InN thin films fabricated by RF reactive sputtering
표제/저자사항
고주파 반응성 스퍼터링에 의해 제작된 InN 박막의 특성 = Characteristics of InN thin films fabricated by RF reactive sputtering / 김영호, 최영복, 정성훈, 홍필영, 문동찬, 김선태
형태사항
p. 527-534: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.11 no.7(1998년 7월), p. 527-534 11:7<527 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 김영호, 반도체제조장비국산화연구센터 호서대학교 E-MAIL: rrc@dogsuri.hoseo.ac.kr
저자: 최영복, 광운대학교 전자재료공학과
저자: 정성훈, 광운대학교 전자재료공학과
저자: 홍필영, 광운대학교 전자재료공학과
저자: 문동찬, 광운대학교 전자재료공학과
저자: 김선태, 대전산업대학교 재료공학과
저자: 김영호, 반도체제조장비국산화연구센터 호서대학교 E-MAIL: rrc@dogsuri.hoseo.ac.kr
저자: 최영복, 광운대학교 전자재료공학과
저자: 정성훈, 광운대학교 전자재료공학과
저자: 홍필영, 광운대학교 전자재료공학과
저자: 문동찬, 광운대학교 전자재료공학과
저자: 김선태, 대전산업대학교 재료공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
