기사
마이크로웨이브 플라즈마 화학기상성장법에 의한 다이아몬드 박막의 합성에 관한 연구 = (A)study on the diamond thin films synthesized by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition
표제/저자사항 마이크로웨이브 플라즈마 화학기상성장법에 의한 다이아몬드 박막의 합성에 관한 연구 = (A)study on the diamond thin films synthesized by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition / 이병수, 이상희, 박상현, 유도현, 이백수, 이덕출
형태사항 p. 809-814: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.11 no.10(1998년 10월), p. 809-814 11:10<809 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 이병수, 인하대학교 공대 전기공학과 E-MAIL: leebsoo@hanimail.com
저자: 이상희, 인하대학교 공대 전기공학과
저자: 박상현, 경남대학교 공대 전기공학과
저자: 유도현 ,안산공업전문대학 전기과
저자: 이백수, 인하대학교 공대 전기공학과
저자: 이덕출, 인하대학교 공대 전기공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로