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전계 방출 소자용 실리콘 팁에 대한 금속 박막(Ti, Nb) 코팅 및 실리사이드화 = Metal(Ti, Nb) coating and silicidization of Si-tip for FILD emitter applications
표제/저자사항
전계 방출 소자용 실리콘 팁에 대한 금속 박막(Ti, Nb) 코팅 및 실리사이드화 = Metal(Ti, Nb) coating and silicidization of Si-tip for FILD emitter applications / 주병권, 박재석, 윤재형, 김경욱, 강문식, 백경갑, 장진, 차균현, 오명환
형태사항
p. 291-297: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.12 no.4(1999년 4월), p. 291-297 12:4<291 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 주병권, 한국과학기술연구원 E-MAIL: jbk@kist.re.kr
저자: 박재석, 한국과학기술연구원
저자: 윤재형, 경희대학교 물리학과
저자: 김경욱, 경희대학교 물리학과
저자: 강문식, 한국과학기술연구원
저자: 백경갑, 대진대학교 전자공학과
저자: 장진, 경희대학교 물리학과
저자: 차균현, 고려대학교
저자: 오명환, 한국과학기술연구원
저자: 주병권, 한국과학기술연구원 E-MAIL: jbk@kist.re.kr
저자: 박재석, 한국과학기술연구원
저자: 윤재형, 경희대학교 물리학과
저자: 김경욱, 경희대학교 물리학과
저자: 강문식, 한국과학기술연구원
저자: 백경갑, 대진대학교 전자공학과
저자: 장진, 경희대학교 물리학과
저자: 차균현, 고려대학교
저자: 오명환, 한국과학기술연구원
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
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9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
