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감압화학증착의 이단계 성장으로 실리콘 기판 위에 증착한 in-situ 인 도핑 다결정 실리콘 박막의 미세구조 조절 = Manipulation of microstructure of in-situ phosphotus-doped poly silicon films deposited on silicon substrate using two step growth of reduced pressure chemical vapor deposition
표제/저자사항
감압화학증착의 이단계 성장으로 실리콘 기판 위에 증착한 in-situ 인 도핑 다결정 실리콘 박막의 미세구조 조절 = Manipulation of microstructure of in-situ phosphotus-doped poly silicon films deposited on silicon substrate using two step growth of reduced pressure chemical vapor deposition / 김홍승, 심규환, 이승윤, 이정용, 강진영
형태사항
p. 95-100: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.13 no.2(2000년 2월), p. 95-100 13:2<95 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 김홍승, 한국전자통신연구원 회로소자기술연구소 E-MAIL: hongseung@etri.re.kr
저자: 심규환, 한국전자통신연구원 회로소자기술연구소
저자: 이승윤, 한국전자통신연구원 회로소자기술연구소
저자: 이정용, 한국과학기술원 재료공학과
저자: 강진영, 한국전자통신연구원 회로소자기술연구소
저자: 김홍승, 한국전자통신연구원 회로소자기술연구소 E-MAIL: hongseung@etri.re.kr
저자: 심규환, 한국전자통신연구원 회로소자기술연구소
저자: 이승윤, 한국전자통신연구원 회로소자기술연구소
저자: 이정용, 한국과학기술원 재료공학과
저자: 강진영, 한국전자통신연구원 회로소자기술연구소
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
