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Nd:YAG Laser를 이용한 자성금속막의 패턴 식각에 있어서 에너지 흡수층이 미치는 영향 = (The)effect of energy-absorbing layers on micro-patterning of magnetic metal films using Nd:YAG laser
표제/저자사항 Nd:YAG Laser를 이용한 자성금속막의 패턴 식각에 있어서 에너지 흡수층이 미치는 영향 = (The)effect of energy-absorbing layers on micro-patterning of magnetic metal films using Nd:YAG laser / 이주현, 송재성, 민복기, 서영준, 채상훈, 안승준
형태사항 p. 538-544: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.13 no.6(2000년 6월), p. 538-544 13:6<538 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 이주현, 선문대학교 재료화학공학부 E-MAIL: leejh@omega.sunmoon.ac.kr
저자: 송재성, 한국전기연구소 전기재료연구부
저자: 민복기, 한국전기연구소 전기재료연구부
저자: 서영준, 선문대학교 재료화학공학부
저자: 채상훈, 선문대학교 재료화학공학부
저자: 안승준, 선문대학교 신소재과학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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