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측온저항체 온도센서가 집적화된 발열저항체형 마이크로 유량센서의 제작 및 특성 = Fabrication and characteristics of hot-film type micro-flowsensors integrated with RTD
표제/저자사항 측온저항체 온도센서가 집적화된 발열저항체형 마이크로 유량센서의 제작 및 특성 = Fabrication and characteristics of hot-film type micro-flowsensors integrated with RTD / 정귀상, 홍석우
형태사항 p. 612-616: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.13 no.7(2000년 7월), p. 612-616 13:7<612 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 정귀상, 동서대학교 정보통신공학부 메카트로닉스공학전공 E-MAIL: gschung@kowon.dongseo.ac.kr
저자: 홍석우, 삼성종합기술원 MEMS Lab.
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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