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Attenuated phase shift mask에 광 근접 효과 보정을 적용한 고립 패턴의 해상 한계 분석 = Resolution limit analysis of isolated patterns using optical proximity correction method with attenuated phase shift mask
표제/저자사항
Attenuated phase shift mask에 광 근접 효과 보정을 적용한 고립 패턴의 해상 한계 분석 = Resolution limit analysis of isolated patterns using optical proximity correction method with attenuated phase shift mask / 김종선, 오용호, 임성우, 고춘수, 이재철
형태사항
p. 901-907: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.13 no.11(2000년 11월), p. 901-907 13:11<901 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 김종선, 원광대학교 물리반도체학부 E-MAIL: contra74@popsmail.com
저자: 김종선, 원광대학교 물리반도체학부 E-MAIL: contra74@popsmail.com
출처
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
