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0.12㎛ 설계규칙을 갖는 DRAM 셀 주요 레이어의 OPC 및 PSM = Study the feasibility of optical lithography for critical layers of 0.12㎛ DRAM
표제/저자사항
0.12㎛ 설계규칙을 갖는 DRAM 셀 주요 레이어의 OPC 및 PSM = Study the feasibility of optical lithography for critical layers of 0.12㎛ DRAM / 박기천, 오용호, 임성우, 고춘수, 이재철
형태사항
p. 6-11: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.14 no.1(2001년 1월), p. 6-11 14:1<6 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 박기천, 원광대학교 물리 반도체학부 E-MAIL: sky73@shinbiro.com
저자: 오용호, 원광대학교 물리 반도체학부
저자: 임성우, 원광대학교 물리 반도체학부
저자: 고춘수, 원광대학교 물리 반도체학부
저자: 이재철, 원광대학교 물리 반도체학부
저자: 박기천, 원광대학교 물리 반도체학부 E-MAIL: sky73@shinbiro.com
저자: 오용호, 원광대학교 물리 반도체학부
저자: 임성우, 원광대학교 물리 반도체학부
저자: 고춘수, 원광대학교 물리 반도체학부
저자: 이재철, 원광대학교 물리 반도체학부
출처
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
