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새로운 ICP 장치를 이용한 고온 초전도체의 dry etching과 기존의 wet etching 기술과의 비교 = Comparison of the existing wet etching and the dry etching with the ICP process method
표제/저자사항
새로운 ICP 장치를 이용한 고온 초전도체의 dry etching과 기존의 wet etching 기술과의 비교 = Comparison of the existing wet etching and the dry etching with the ICP process method / 강형곤, 임성훈, 임연호, 한윤봉, 황종선, 한병성
형태사항
p. 158-162: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.14 no.2(2001년 2월), p. 158-162 14:2<158 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 강형곤, 전북대학교 전기공학과 E-MAIL: joshuah@shinbiro.com
저자: 임성훈, 전북대학교 전기공학과
저자: 임연호, 전북대학교 화학공학과
저자: 한윤봉, 전북대학교 화학공학과
저자: 황종선, 전남도립담양대학교 전기전자공학부
저자: 한병성, 전북대학교 전기공학과
저자: 강형곤, 전북대학교 전기공학과 E-MAIL: joshuah@shinbiro.com
저자: 임성훈, 전북대학교 전기공학과
저자: 임연호, 전북대학교 화학공학과
저자: 한윤봉, 전북대학교 화학공학과
저자: 황종선, 전남도립담양대학교 전기전자공학부
저자: 한병성, 전북대학교 전기공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
