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SOI와 트랜치 구조를 이용한 초저소비전력형 미세발열체의 제작과 그 특성 = (The)fabrication of micro-heaters with low consumption power using SOI and trench structures and its characteristics
표제/저자사항
SOI와 트랜치 구조를 이용한 초저소비전력형 미세발열체의 제작과 그 특성 = (The)fabrication of micro-heaters with low consumption power using SOI and trench structures and its characteristics / 정귀상, 홍석우, 이원재, 송재성
형태사항
p. 228-233: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.14 no.3(2001년 3월), p. 228-233 14:3<228 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 정귀상, 동서대학교 정보시스템공학부 메카트로닉스전공 E-MAIL: gschung@dongseo.ac.kr
저자: 홍석우, 삼성종합기술원 MEMS팀
저자: 이원재, KERI 신소재응용그룹
저자: 송재성, KERI 신소재응용그룹
저자: 정귀상, 동서대학교 정보시스템공학부 메카트로닉스전공 E-MAIL: gschung@dongseo.ac.kr
저자: 홍석우, 삼성종합기술원 MEMS팀
저자: 이원재, KERI 신소재응용그룹
저자: 송재성, KERI 신소재응용그룹
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
