국가전거
저자 전거 검색
기사
인가 바이어스 조건이 전기화학적 식각정지 특성에 미치는 영향 = Effects of applied bias conditions on electrochemical etch-stop characteristics
표제/저자사항
인가 바이어스 조건이 전기화학적 식각정지 특성에 미치는 영향 = Effects of applied bias conditions on electrochemical etch-stop characteristics / 정귀상, 강경두, 김태송, 이원재, 송재성
형태사항
p. 263-268: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.14 no.4(2001년 4월), p. 263-268 14:4<263 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 정귀상, 동서대학교 정보시스템공학부 메카트로닉스전공 E-MAIL: gschung@dongseo.ac.kr
저자: 강경두, 동서대학교 정보시스템공학부 메카트로닉스전공
저자: 김태송, KIST 마이크로시스템연구센터
저자: 이원재, KERI 전자기소자연구그룹
저자: 송재성, KERI 전자기소자연구그룹
저자: 정귀상, 동서대학교 정보시스템공학부 메카트로닉스전공 E-MAIL: gschung@dongseo.ac.kr
저자: 강경두, 동서대학교 정보시스템공학부 메카트로닉스전공
저자: 김태송, KIST 마이크로시스템연구센터
저자: 이원재, KERI 전자기소자연구그룹
저자: 송재성, KERI 전자기소자연구그룹
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
